ניקוי ומשטח מדויקיַחַס
אנו מתמחים במתן פתרונות ניקוי וטיפול משטחים מקצועיים לטכנולוגיות תהליך מתקדמות. על ידי שילוב משאבים משותפים אסטרטגיים בתעשייה, אנו משתפים פעולה כדי לספק תמיכה שירות מקיפה ללקוחותינו. לשותפים שלנו יש למעלה מ-20 שנות ניסיון מעשי בתחום המוליכים למחצה, עם צוותים מצוידים במומחיות טכנית המכסים עד לצומת 14nm. הם מסוגלים לספק באופן מהימן שירותי ניקוי וטיפול פני השטח עבור 8 אינץ' ו-12 אינץ' של אריגי רקיק, הכוללים תהליכים כגון פיסי אדים (PVD), שקיעת אדים כימית (CVD), תחריט והשתלת יונים.
פועלים כגשר שירות, אנו ממנפים את מערכות ניהול האיכות הבוגרות של השותפים שלנו ויכולות השירות הרספונסיביות כדי לעזור ללקוחות לייצור מעגלים משולבים וייצור מוליכים למחצה רחבים להתמודד עם אתגרי בקרת איכות ותהליכים מחמירים, תוך מתן תמיכה שירות יעילה ויציבה.
תיאורי מקרה לניקוי מדויק
בדיקת דגימה לאחר שטיפה מדויקת, רמת החלקיקים ורמת שאריות יוני המתכת על פני השטח חייבות לעמוד בדרישות של תהליך ה-28 ננומטר הנוכחי.
-
לִפנֵי -
לְאַחַר
-
לִפנֵי -
לְאַחַר
-
לִפנֵי -
לְאַחַר
-
לִפנֵי -
לְאַחַר
תהליך ניקוי ושיפוץ מדויק
-
בדיקה נכנסת
בדיקה נכנסת
בדוק את המראה, המפרט והנזק.
-
מִסוּך
מִסוּך
הגן על אזורים שאינם-בטיפול מפני קורוזיה.
-
הפשטה כימית
הפשטה כימית
הסר במדויק ציפויים ישנים.
-
שטיפה/השריה
שטיפה/השריה
הסר שאריות כימיקלים עם מים טהורים.
-
מִסוּך
מִסוּך
מגן על אזורים מפני התזת חול.
-
התזת חול
התזת חול
התאם פרמטרים כדי להשיג חספוס יעד.
-
גודל ובדיקה
גודל ובדיקה
למדוד ולתקן מידות כדי לעמוד במפרט.
-
ריסוס תרמי
ריסוס תרמי
החל ציפוי-עמיד בפני שחיקה באמצעות Arc או פלזמה.
-
שטיפת-בלחץ גבוה
שטיפת-בלחץ גבוה
הסר חלקיקי שטח גדולים.
-
ניקוי אולטראסוני
ניקוי אולטראסוני
בצע ניקוי מדויק כדי להסיר חלקיקים עדינים.
-
ייבוש בחדר נקי
ייבוש בחדר נקי
יבש רכיבים היטב בתנור חדר נקי Class 100.
-
בדיקה סופית
בדיקה סופית
ערכו בדיקות מקיפות כדי להבטיח ציות.
-
אריזה
אריזה
רכיבי אריזת ואקום לפי דרישות הלקוח.
-
ביקורת משלוחים
ביקורת משלוחים
ודא את תקינות הכמות והאריזה.
-
מסירה סופית
מסירה סופית
הפקת דוחות והגשה.
יכולת שירות
► 5000m2(55000 מ"ר) אזור סדנא נקי.
► מעל 5,0000 חתיכות / חודש יכולת טיפול.
► 365 ימים של שירות רציף ויעיל.
► מוצרים שונים, תהליכים שונים.
►8 קו עיבוד מוביל כולל טכנולוגיות של:
- ניקוי/הפשטה כימית, הפשטה פיזית
- ARC-תרסיס, תרסיס פלזמה, ציפוי, טקסטורה, ניקוי ואריזה, שיפוץ וכו'.
יכולת טכנית
► תהליך: תהליך מתקדם של 14 ננומטר
► היקף השירות: 4 אינץ', 6 אינץ', 12 אינץ' של חלקי מוליכים למחצה
► תהליך שירות: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► בקרת איכות קפדנית: טכנולוגיית ניקוי-ברמת דיוק גבוהה
